1683年，清军克台，沈光文婉拒福建总督姚启圣参政之邀，然回乡之愿亦因姚启圣病故而未竟。1684年清廷设诸罗县（后改嘉义），沈光文与首任知县季麒光等人交好，次年迁居县城并共创“东吟社”，诗文唱和。1688年病逝，享年77岁。